一臺(tái)完整的真空鍍膜機(jī)由多個(gè)核心部件組成，各部分協(xié)同工作才能完成鍍膜過程。其主要結(jié)構(gòu)包括真空腔室、真空系統(tǒng)、鍍膜源、工件架、控制系統(tǒng)等。
真空腔室是鍍膜的核心場(chǎng)所，通常由不銹鋼制成，具備良好的密封性和耐壓性；真空系統(tǒng)由真空泵組構(gòu)成，負(fù)責(zé)將腔室內(nèi)的氣壓降至工藝要求的真空度，是鍍膜的前提條件；鍍膜源根據(jù)鍍膜類型不同分為蒸發(fā)源、濺射靶等，是提供鍍膜粒子的裝置；工件架用于放置和轉(zhuǎn)動(dòng)工件，確保薄膜沉積均勻；控制系統(tǒng)則通過設(shè)定參數(shù)，精準(zhǔn)控制真空度、溫度、鍍膜時(shí)間等關(guān)鍵指標(biāo)。
其基本工作流程清晰有序：首先將待鍍工件清洗干凈后放入腔室，關(guān)閉腔室門并啟動(dòng)真空系統(tǒng)抽真空；當(dāng)腔室內(nèi)達(dá)到設(shè)定真空度后，啟動(dòng)鍍膜源，使鍍膜材料以粒子形式釋放；鍍膜粒子在真空環(huán)境中運(yùn)動(dòng)并沉積到工件表面；達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚后，關(guān)閉鍍膜源，待腔室冷卻后放氣，取出鍍好膜的工件。
